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污染源分析服务

PolyCHECK® 是一种清洁验证和污染源分析工具,专用于检测污染物,因为它具备以下特点,使工程师能够迅速且有效地采样设备表面,并收集无尘室中的外来 粒子。 PolyCHECK® 能够吸附和收集污染物在表面上,这使得将污染物放置到扫描电子显微镜 (SEM) 上进行分析更加容易。 此外,它还可用于进行能量色散X射线(SEM/EDX)和傅立叶转换红外光谱仪(FTIR) 分析。

PolyCHECK® 的制造材料采用无尘室级别的聚酯纤维,专门设计用于在表面进行干拭后吸附和收集污染物。 其吸附和保留大型设备表面的污染物,有助于工程师在检验室识别污染源。 PolyCHECK® 设计用于协助SEM/EDX技术人员快速将收集的污染物转移到扫描电子显微镜SEM上,以进行进一步的分析。 同时,搭配Foamtec的检验室以了解污染物的来源以及成分。

PolyCHECK® 还提供了专用的棉花棒,可用于收集小面积的表面样本,以确保对各种细节的检查。

有别于一般工具,PolyCHECK® 采用黑色布料,这有助于简化对有机粒子污染物的视觉检查,因为这些污染物在暴露于紫外光源时会发出萤光信号, 更容易检测和辨识。

 

优势

 • 可以在无尘室中从大面积表面(如工作台、机台、真空室、机器手臂、设备等等)收集污染物。

 • 可以更快速地进行失效模式与影响分析(FMEA),以找出污染物来源的根本,以解决CAPA(矫正及预防措施)、刮痕事件和污染 物异常调查。

 • 积极实施改进计划,以减少污染源。

 

应用领域

 • 搭配紫外光使用,PolyCHECK® 能够验证清洁后的真空腔体、前端模组、晶圆转移系统等设备

 • 适用于取样晶圆处理设备的表面、工具和元件,以识别污染源。

 

※如有需求,请洽公司人员询问。