無塵室ScrubDISKS® 是一種專利擦洗工具,用於晶圓廠、平板顯示、光學元件和硬碟等行業製程設備的PM程序。 ScrubDISKs® 廣泛用於200mm和300mm的晶圓廠,用於PM或濕式清潔CVD、PECVD、乾式蝕刻、PVD和離子注入設備。 ScrubDISKs®的金屬和可移動離子含量極低,並提供多種鑽石、碳化矽和氧化鋁磨料,以實現安全高效的濕式清潔BKMs。與UltraSOLV® 海綿、無塵布和棉棒一起使用的ScrubDISKS® 可降低清潔時間、機台停機時間以及關鍵製程設備的污染程度。 ScrubDISKS® 專為與ErgoSCRUB® 握把一起使用而設計。
主要特點:
• 不同的粗度選擇,可快速去除鋁、不銹鋼、陶瓷、石英和陽極氧化表面的製程殘留物,同時最大程度減少工具磨損。
•ScrubDISKS® 的無纖維結構極大降低了清潔工具中的汙染物含量。
• 獨特的沾黏技術降低磨沙顆粒的掉落,使PM程序更加清潔。
• 透過使用洗滌磨料,最大程度減少有害的離子殘留物。
• 允許在PM中消除H2O2,從而大幅減少停機時間。