使用 PolyCHECK® 和 MiraWIPE® 防止Track與Scanner Tools中的晶圓污染

更新時間: 12/20/2024      上傳者: 59Clean

引言
在晶圓廠中Track Tools（如 TEL Lithius Pro）的污染會導致生產效率下降和晶圓缺陷。特別是來自清潔耗材中的聚酯纖維，容易從Track Tools遷移到後續機台如Scanner  Tools中，並在那裡引發更嚴重的問題。傳統的顆粒汙染物採樣技術通常無法收集足夠的材料來準確識別有機污染物，如聚酯纖維。因此，這些纖維，作為晶圓NG事件的主要來源，經常未被檢測到。Foamtec 的 PolyCHECK® 樣品收集系統和 MiraWIPE 超細纖維無塵布提供了一個更有效的解決方案，用於識別和防止這些污染問題。

傳統採樣技術的局限性
傳統的表面汙染物採樣方法，如膠帶或 SEM 採樣，廣泛用於採樣晶圓廠中的顆粒污染來源。然而，這些技術通常無法收集足夠的樣品，使得難以準確識別有機物，如聚酯纖維。由於傳統方法主要關注無機物和金屬污染物，有機污染源（包括來自清潔耗材的纖維）往往被忽視。
在如 TEL Lithius Pro 這樣的機台中，PM期間使用的一般無塵布會將纖維脫落到敏感表面上。這些纖維會隨著工具內部遷移，導致顆粒產生並促成刮傷事件。然而，由於傳統採樣技術的局限性，聚酯纖維的存在經常未被檢測到，使得污染持續存在。

纖維污染對Track 與 Scanners Tools的影響
Track Tools如 TEL Lithius Pro 負責晶圓塗佈和顯影，特別容易受到清潔耗材中纖維的影響。使用越多的一般無塵布，其因耐磨性差而脫落的纖維就越多。這些纖維容易在關鍵區域（如 FOUP 入口、傳輸室和晶圓處理系統）中累積，然後轉移到晶圓上。
一旦這些纖維附著在晶圓上，它們就可能遷移到Scanner Tools中。在Scanner Tools中，纖維可能被困在晶圓和關鍵表面之間（如晶圓台或溫度穩定裝置( TSU），影響真空值和晶圓對位不正。這會導致設備停機和良率降低。
對 TEL Lithius Pro 的分析顯示，纖維（主要是聚酯纖維）在晶圓與機台表面之間被檢測到。這些纖維來自一般無塵布，並導致了污染和機台錯誤。然而，傳統的採樣技術未能識別這些纖維為污染來源。

PolyCHECK® 如何克服傳統採樣的局限性
Foamtec 的 PolyCHECK® 透過提供更全面的分析方法，克服了傳統採樣技術的局限性。PolyCHECK® 專為收集具有統計意義的顆粒樣本而設計，包括無機物和有機物，從而更精確地識別污染物。
在最近的一次 TEL Lithius Pro Track Tools的 PM 中，工程師使用 PolyCHECK®從出現污染跡象的區域收集樣本。通過紫外線燈和化學分析，工程師確定了聚酯纖維是主要污染來源。傳統的採樣技術未能檢測到這些纖維，而現在它們被認為是刮傷事件的主要原因。
這種更詳細的顆粒分析使工程師能夠採取針對性的矯正措施，例如更換無塵布，以防止進一步的污染。

MiraWIPE：Track與Scanner Tools的無纖維清潔解決方案
雖然 PolyCHECK® 幫助工程師更精確地識別纖維污染，Foamtec 的 MiraWIPE 則確保在清潔過程中不會產生新纖維。MiraWIPE 的超細纖維可提高清潔效率並降低 PM 過程中纖維脫落的風險。其卓越的耐磨性確保即使多次擦拭也不會產生新纖維。
透過使用 MiraWIPE 代替傳統的聚酯纖維擦拭布，晶圓廠能防止纖維污染的狀況發生。MiraWIPE 的纖維結構增強了清潔效率，減少顆粒轉移的風險，保持設備潔淨，並降低顆粒汙染的可能性。

防止纖維污染的成功實例
PolyCHECK® 和 MiraWIPE 的結合在防止Track和Scanner Tools中的纖維污染方面已證明其高度有效。在對 TEL Lithius Pro Track Tools的分析中，通過 PolyCHECK® 確認了傳統採樣方法未能檢測到的聚酯纖維。如果不加以處理，這些纖維將影響到Scanner，導致設備錯誤和晶圓缺陷。

通過在 PM 中使用實施 MiraWIPE，晶圓廠能確保無纖維清潔，防止污染擴散到整個晶圓廠。這減少了設備停機時間，改善了晶圓質量，並提升了整體生產效率。

結論
傳統的顆粒採樣技術往往無法收集足夠的樣本來準確識別有機污染物，如聚酯纖維，這是晶圓廠中顆粒汙染和纖維刮傷事件的主要來源。Foamtec 的 PolyCHECK® 提供了更徹底的污染源識別方法，而 MiraWIPE 提供了防止纖維產生的無纖維清潔解決方案。這些解決方案幫助晶圓廠減少設備停機時間，防止晶圓缺陷，並優化良率。

MiraWIPE®產品連結: https://www.59clean.com.tw/tw/html/product/show.php?pid=189&cid=77

PolyCHECK®產品連結: https://www.59clean.com.tw/tw/html/product/show.php?pid=230&cid=77&cid2=82