提升高溫下化學氣相沉積（CVD）設備濕式清潔的效率與安全性

更新時間: 09/12/2024      上傳者: 59Clean

引言：
CVD設備在各行各業中扮演著重要的角色，需定期維護並確保最佳性能。在這些設備中尤其是清潔噴頭或氣體擴散板非常具有挑戰性，特別是當這些部件需要在高溫下進行清潔時。傳統的擦拭方法在高溫的 CVD 部件上可能會帶來操作和安全風險，因為一般無塵布可能會熔化或無法提供有效清潔所需的濕度。
然而，Foamtec 的創新解決方案 MiraSAT 濕式無塵布，使用 100% 超純水來濕潤，保證足夠的水分，同時利用 MiraWIPE 的微纖維結構來解決這些挑戰。本文將探討 Foamtec 的 MiraSAT 濕式無塵布如何提高 CVD 設備清潔的效率、清潔效果。

1. 高溫下清潔的挑戰：
在高溫下清潔 CVD 設備部件，如噴頭或氣體擴散板是一項關鍵。然而，傳統的擦拭方法可能會出現問題，因為一般無塵布可能會熔化或無法保持足夠的水分。這些可能會妨礙操作效率和安全性。

2. 介紹 Foamtec 的 MiraSAT 濕式無塵布：
Foamtec 的 MiraSAT 濕式無塵布提供了解決方案來應對 CVD 設備清潔過程中的挑戰。MiraSAT 濕式無塵布專門設計用於有效地保持無塵布的溼度及潔淨度。使用100%超純水消除了化學殘留物污染的風險，確保最佳清潔效果。MiraSAT 濕式無塵布每片含有 13 毫升的100%超純水，適用於清潔熱真空室的表面。

3. 水分保持和安全性：
MiraSAT 濕式無塵布的微纖維結構使其即使在高溫下也能保持足夠的水分。這一特性確保了噴頭或氣體擴散板可以不擔心擦拭布太乾燥或熔化。MiraSAT 濕式無塵布提供了完美比例的濕度，並且減少了手動潤濕導致水分使用過多或不足的可能性。

4. 利用 MiraWIPE 的微纖維結構：
Foamtec的MiraWIPE超細纖維無塵布的微纖維技術進一步提升了 MiraSAT 濕式無塵布的清潔效率和效果。微纖維結構能夠有效捕捉顆粒，使無塵布在清潔過程中對污染物的捕捉能力大大提高。MiraSAT 濕式無塵布的強大清潔效能減少了多次清潔循環的需要。

5. Foamtec MiraSAT 濕式無塵布的優勢：
增強安全性：能夠在高溫下保持足夠的水分，確保 CVD 設備部件的安全清潔，無需擔心擦拭布熔化或乾燥。
提高效率：MiraSAT 濕式無塵布有效地保持無塵布的溼度及潔淨度並減少了手動濕潤的程序，節省了時間和精力。
增強清潔效果：MiraWIPE超細纖維無塵布的微纖維結構有效捕捉顆粒。
化學純度：使用 100% 超純水消除了清潔過程中的化學污染風險。

結論：
Foamtec 的 MiraSAT 濕式無塵布，使用 100% 超純水預先濕潤，為高溫 CVD 設備中噴頭和氣體擴散板的清潔提供了一種解決方案，不僅能夠提高安全性、改善清潔效率，還能增加合格率。讓設備在保持高潔淨標準的同時,也優化 了CVD 設備的性能和壽命。

MiraSAT產品連結:https://www.59clean.com.tw/tw/html/product/show.php?pid=198&cid=77&cid2=79