使用Foamtec的Diamond ScrubPADS提升10奈米晶圓廠的PVD腔體清潔的PM效率

更新時間: 03/27/2024 上傳者: 59Clean

在10奈米晶圓廠中，維持PVD腔體的清潔和效能至關重要!

10奈米晶圓廠的操作規模要求極高的清潔程度，以實現精確度。傳統的清潔工具，如Scotch-Brite™刷布，通常會在機台保養期間產生顆粒掉落，危及晶片品質，潛在地導致停機風險產生的昂貴成本或降低。機台保養（PM）是優化性能並降低顆粒污染風險的關鍵。Foamtec的Diamond ScrubPADS已成為這些高階製程晶圓廠的首選解決方案，尤其是用於PVD腔體清潔。
傳統清潔工具面臨的挑戰：產量。Foamtec的Diamond ScrubPADS為10奈米晶圓廠的PVD腔體清潔提供了一個革命性解決方案。

解決方案→Foamtec的Diamond ScrubPADS：

Foamtec的Diamond ScrubPADS迅速成為10奈米晶圓廠的首選PM工具，特別是用於PVD腔體清潔。這些刷布具有獨特的鑽石塗層表面，確保高效的清潔，而不會產生顆粒。透過用Diamond ScrubPADS取代傳統的Scotch-Brite™刷布，晶圓廠可以顯著增強其PM程序。