MiraSAT預濕無塵布：降低晶圓廠揮發性有機化合物的解決方案

更新時間: 03/19/2024     上傳者: 59Clean

簡介： 
在半導體製造領域，維持一個乾淨和無污染的環境對確保晶圓的品質十分重要。晶圓廠面臨的一個重要挑戰是空氣中分子污染物（AMC）的存在，這可能對生產過程產生不利的影響。然而，Foamtec創新的MiraSAT預濕無塵布已成為降低揮發性有機化合物（VOC）和應對廠內AMC問題的一個重要改變。

降低VOC： 
揮發性有機化合物（VOC）是空氣中分子污染物的主要來源，對晶圓廠內敏感的製造過程構成威脅。通過引入MiraSAT，Foamtec為晶圓廠提供了一個強大的工具來解決這個問題。這些無塵布有三種：
◆100％超純水
◆10％的IPA(異丙醇)跟90%超純水 
◆70％的IPA跟30%超純水
可以根據特定需求選擇合適的選項。

替代100％ IPA 預濕無塵布： 
隨著28奈米晶圓廠的崛起，在機台保養期間尋找替代方案來替代100％ IPA 預濕無塵布變得非常重要。Foamtec的MiraSAT無塵布已被證明是可靠的解決方案。透過使用MiraSAT無塵布，28奈米晶圓廠成功地將過程中生成的VOC減少了60％以上。這一突破不僅改善了廠內的空氣品質，還提高了整個製造過程的效率。

超吸水超細纖維無塵布： 
MiraSAT無塵布的一個卓越特點是使用超吸水的超細纖維無塵布。這種獨特的布料確保即使浸濕100％的水，無塵布也會使真空室保持乾燥。這減少了機台的停機時間，使生產過程不中斷。超細纖維無塵布的優越吸水性提高了清潔效率，從而實現更具生產力和可靠性的晶圓製造環境。

結論：
Foamtec的MiraSAT預濕無塵布已經徹底改變了晶圓廠應對降低VOC和AMC問題的方式。透過使用超純水預濕無塵布的選項以及不同濃度的IPA，這些無塵布提供了靈活性，以滿足特定的清潔需求。MiraSAT無塵布在機台保養期間取代100％ IPA 預濕擦拭布，可大幅減少過程中產生的VOC。此外，超吸水超細纖維無塵布確保無塵室保持乾燥，減少了機台的停機時間。有了MiraSAT，Foamtec的產品為晶圓廠提供了一個有效的解決方案，以維護更乾淨、更安全和更高效的製造環境。

MiraSAT™UPW產品連結: https://www.59clean.com.tw/tw/html/product/show.php?pid=198&cid=77&cid2=79