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PolyCHECK無塵布 / 收集外來的粒子樣本
PolyCHECK® 無塵布 / 收集外來的汙染物樣本
更新時間: 09/22/2023 上傳者: 59Clean
PolyCHECK® 是一種清潔驗證和汙染源分析工具，專用於檢測污染物，因為它具備以下特點，使工程師能夠迅速且有效地採樣設備表面，並收集無塵室中的外來粒子。PolyCHECK® 能夠在表面上吸附和收集污染物，這使得將污染物放置到掃描電子顯微鏡 (SEM) 上進行分析更加容易。此外，它還可用於進行能量色散X射線(SEM/EDX)和傅立葉轉換紅外光譜儀(FTIR) 分析。
PolyCHECK® 的製造材料採用無塵室級別的聚酯纖維，專門設計用於在表面進行乾拭後吸附和收集污染物。其吸附和保留大型設備表面的汙染物，有助於工程師在檢驗室識別污染源。PolyCHECK® 設計用於協助SEM/EDX技術人員快速將收集的污染物轉移到掃描電子顯微鏡SEM上，以進行進一步的分析。同時，搭配Foamtec的檢驗室以了解汙染物的來源以及成分。
PolyCHECK® 還提供了專用的棉花棒，可用於採集小面積的表面樣本，以確保對各種細節的檢查。
有別於一般工具，PolyCHECK® 採用黑色布料，這有助於簡化對有機粒子污染物的視覺檢查，因為這些污染物在暴露於紫外光源時會發出螢光信號，更容易檢測和辨識。
優勢
• 可以在無塵室中從大面積表面(如工作台、機台、真空室、機器手臂、設備等等)收集污染物。
• 可以更快速地進行失效模式與影響分析(FMEA)，以找出汙染物來源的根本，以解決CAPA(矯正及預防措施)、刮痕事件和汙染物異常調查。
• 積極實施改進計劃，以減少污染源。
應用領域
• 搭配紫外光使用，PolyCHECK® 能夠驗證清潔後的真空腔體、前端模組、晶圓轉移系統等設備
• 適用於取樣晶圓處理設備的表面、工具和元件，以識別污染源。
PolyCHECK的運作方式
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1.確認關鍵設備 設備已經清潔完畢，準備好恢復生產。 |
2.使用 PolyCHECK® 擦拭表面 PolyCHECK® 能夠快速有效地對不同大小面積進行採樣。 |
3.視覺檢查 PolyCHECK® PolyCHECK® 的黑色布料可以使用UV燈並凸顯在無塵室下難以看到的纖維和顆粒。 |
4.使用 SEM 樣品座轉移污染物 PolyCHECK® 設計簡便，可輕鬆將污染物轉移到掃描電子顯微鏡SEM和顯微鏡玻璃片上，以便進行進一步的分析。 |
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5.進行SEM/EDX測試 SEM/EDX分析可以識別汙染物的特性。 |
6.進行FTIR測試 FTIR紅外光譜儀收集高分辨率的光譜數據，涵蓋了廣泛的光譜範圍。 |
7.SEM/EDX分析 SEM/EDX機器使我們方便查看污染物的化學成分。 |
8.FTIR確認污染源 可以從FTIR系統裡的資料庫中確切地分析出PolyCHECK上的汙染物。 |
PolyCHECK®產品連結: https://www.59clean.com.tw/tw/html/product/show.php?pid=230&cid=77&cid2=82
PolyCHECK® Swabs 產品連結: https://www.59clean.com.tw/tw/html/product/show.php?pid=231&cid=77&cid2=82