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钻石刷布

360号方形钻石刷布

HT4536D-10

ScrubPADS® 是专利湿干涂层磨料,专为半导体晶圆厂的制程设备清除残留物、锈迹和副产品而设计。 ScrubPADS® 广泛用于200mm和300mm的晶圆厂,用于PM或湿式CVD、PECVD、干式蚀刻、PVD和离子注入设备。 ScrubPADS® 的金属和可移动离子含量极低,并提供多种钻石、碳化矽和氧化铝磨料,以实现安全高效的湿式清洁BKMs。与UltraSOLV® 海绵、无尘布和棉棒一起使用的ScrubPADS® 可降低清洁时间、机台停机时间以及关键制程设备的污染水平。

 

主要特点:

• 不同的粗度选择,可快速去除铝、不锈钢、陶瓷、石英和阳极氧化表面的制程残留物,同时最大程度减少工具磨损。

• ScrubPADs的无纤维结构极大降低了清洁工具中的污染物含量。

• 独特的沾黏技术降低磨沙颗粒的掉落,使PM程序更加清洁。

• 一同使用UltraSOLV® 海绵进行清洁,并延长使用寿命。

• 透过使用洗涤磨料,最大程度减少有害的离子残留物。

• 允许在PM中消除H2O2,从而大幅减少停机时间。

 

更多产品相关介绍Blog: 使用Foamtec的Diamond ScrubPADS提升10纳米晶圆厂PVD腔体清洁的PM效率

更多产品相关介绍Blog: Foamtec 开发 HFE 溶剂替代品:Diamond ScrubPADS 与 MiraWIPE 提高 LAM、AMAT 和 TEL 等干式蚀刻机台的运行时间

品牌 Foamtec
名称

360 Diamond Grit ScrubPAD®

型号 HT4536D-10
尺寸 3" x 4"
颜色 黃色
包装 10 pcs/bag 
有效期 3年
产地 泰国

※如有需求,请洽公司人员询问。

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