钻石刷布
无尘室ScrubDISKS® 是一种专利擦洗工具,用于晶圆厂、平板显示、光学元件和硬碟等行业制程设备的PM程序。 ScrubDISKs® 广泛用于200mm和300mm的晶圆厂,用于PM或湿式清洁CVD、PECVD、干式蚀刻、PVD和离子注入设备。 ScrubDISKs®的金属和可移动离子含量极低,并提供多种钻石、碳化矽和氧化铝磨料,以实现安全高效的湿式清洁BKMs。与UltraSOLV® 海绵、无尘布和棉棒一起使用的ScrubDISKS® 可降低清洁时间、机台停机时间以及关键制程设备的污染程度。 ScrubDISKS® 专为与ErgoSCRUB® 握把一起使用而设计。
主要特点:
• 不同的粗度选择,可快速去除铝、不锈钢、陶瓷、石英和阳极氧化表面的制程残留物,同时最大程度减少工具磨损。
•ScrubDISKS® 的无纤维结构极大降低了清洁工具中的污染物含量。
• 独特的沾黏技术降低磨沙颗粒的掉落,使PM程序更加清洁。
• 透过使用洗涤磨料,最大程度减少有害的离子残留物。
• 允许在PM中消除H2O2,从而大幅减少停机时间。
品牌 | Foamtec | ||
名称 | 180 Diamond Grit ScrubDISK® | ||
型号 | HT4518DC3-10 | HT4518DC3G-10 | HT4518DC5Z-10 |
尺寸 | 3.5" | 3.5" | 5" |
规格 | 魔鬼毡 | 背胶式 | 魔鬼毡 |
颜色 | 黃色 | ||
包装 | 10 pcs/bag | ||
有效期 | 3年 | ||
产地 | 泰国 |
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