使用 PolyCHECK® 和 MiraWIPE® 防止 Track 和 Scanner 工具中的晶圆污染

更新时间: 12/20/2024 上传者: 59Clean

引言
在晶圆厂中，Track Tools（如 TEL Lithius Pro）的污染会导致生产效率下降和晶圆缺陷。尤其是清洁耗材中的聚酯纤维，容易从 Track Tools 转移到后续设备如 Scanner Tools 中，并在这些设备中引发更严重的问题。传统的颗粒污染物采样技术通常无法收集足够的材料以准确识别有机污染物，例如聚酯纤维。因此，这些纤维作为晶圆不良事件的主要来源，经常未被检测到。Foamtec 的 PolyCHECK® 样品收集系统和 MiraWIPE 超细纤维无尘布提供了一种更有效的解决方案，用于识别和防止这些污染问题。

传统采样技术的局限性
传统的表面污染物采样方法（如胶带或 SEM 采样）广泛用于晶圆厂中颗粒污染来源的采样。然而，这些技术通常无法收集足够的样本，从而难以准确识别有机物，例如聚酯纤维。由于传统方法主要关注无机物和金属污染物，有机污染源（包括清洁耗材中的纤维）往往被忽视。

在如 TEL Lithius Pro 这样的设备中，PM（预防性维护）期间使用的一般无尘布会将纤维脱落到敏感表面。这些纤维会随着工具内部迁移，导致颗粒产生并促成刮伤事件。然而，由于传统采样技术的局限性，聚酯纤维的存在经常未被检测到，使污染持续存在。

纤维污染对 Track 和 Scanner Tools 的影响
Track Tools（如 TEL Lithius Pro）负责晶圆涂布和显影，特别容易受到清洁耗材中纤维的影响。使用越多的一般无尘布，其因耐磨性差而脱落的纤维就越多。这些纤维容易在关键区域（如 FOUP 入口、传输室和晶圆处理系统）中累积，随后转移到晶圆上。

一旦这些纤维附着在晶圆上，它们可能会迁移到 Scanner Tools 中。在 Scanner Tools 中，纤维可能被困在晶圆与关键表面之间（如晶圆台或温度稳定装置 TSU），影响真空值和晶圆对准。这将导致设备停机和良率下降。

对 TEL Lithius Pro 的分析显示，纤维（主要是聚酯纤维）在晶圆与设备表面之间被检测到。这些纤维来源于一般无尘布，并导致了污染和设备故障。然而，传统采样技术未能识别这些纤维为污染来源。

PolyCHECK® 如何克服传统采样的局限性
Foamtec 的 PolyCHECK® 通过提供更全面的分析方法，克服了传统采样技术的局限性。PolyCHECK® 专为收集具有统计意义的颗粒样本而设计，包括无机物和有机物，从而更精确地识别污染物。

在最近一次对 TEL Lithius Pro Track Tools 的 PM 中，工程师使用 PolyCHECK® 从出现污染迹象的区域收集样本。通过紫外线灯和化学分析，工程师确定聚酯纤维是主要污染来源。传统采样技术未能检测到这些纤维，而现在它们被认为是刮伤事件的主要原因。

这种更详细的颗粒分析使工程师能够采取针对性的纠正措施，例如更换无尘布，以防止进一步污染。

MiraWIPE：Track 和 Scanner Tools 的无纤维清洁解决方案
虽然 PolyCHECK® 帮助工程师更精确地识别纤维污染，Foamtec 的 MiraWIPE 则确保在清洁过程中不会产生新纤维。MiraWIPE 的超细纤维提高了清洁效率，并降低 PM 过程中纤维脱落的风险。其卓越的耐磨性确保即使多次擦拭也不会产生新纤维。

通过使用 MiraWIPE 代替传统的聚酯纤维擦拭布，晶圆厂能够有效防止纤维污染。MiraWIPE 的纤维结构提升了清洁效率，减少颗粒转移的风险，保持设备洁净，并降低颗粒污染的可能性。

防止纤维污染的成功实例
PolyCHECK® 和 MiraWIPE 的结合在防止 Track 和 Scanner Tools 中的纤维污染方面已被证明高度有效。在对 TEL Lithius Pro Track Tools 的分析中，通过 PolyCHECK® 确认了传统采样方法未能检测到的聚酯纤维。如果不加以处理，这些纤维将影响 Scanner，导致设备故障和晶圆缺陷。

通过在 PM 中实施 MiraWIPE，晶圆厂能够确保无纤维清洁，防止污染扩散到整个晶圆厂。这减少了设备停机时间，改善了晶圆质量，并提升了整体生产效率。

结论
传统的颗粒采样技术往往无法收集足够的样本来准确识别有机污染物（如聚酯纤维），而这些污染物是晶圆厂中颗粒污染和纤维刮伤事件的主要来源。Foamtec 的 PolyCHECK® 提供了更彻底的污染源识别方法，而 MiraWIPE 提供了防止纤维产生的无纤维清洁解决方案。这些解决方案帮助晶圆厂减少设备停机时间，防止晶圆缺陷，并优化良率。

MiraWIPE®产品信息:https://www.59clean.com.tw/cn/html/product/show.php?pid=278&cid=97

PolyCHECK®产品信息: https://www.59clean.com.tw/cn/html/product/show.php?pid=311&cid=97&cid2=95