MiraSAT预湿无尘布：降低晶圆厂挥发性有机化合物的解决方案

更新時間: 04/19/2024     上傳者: 59Clean

简介：

在半导体制造领域，维持一个干净和无污染的环境对确保晶圆的品质十分重要。晶圆厂面临的一个重要挑战是空气中分子污染物（AMC）的存在，这可能对生产过程产生不利的影响。然而，Foamtec创新的MiraSAT预湿无尘布已成为降低挥发性有机化合物（VOC）和应对厂内AMC问题的一个重要改变。

降低VOC：

挥发性有机化合物（VOC）是空气中分子污染物的主要来源，对晶圆厂内敏感的制造过程构成威胁。通过引入MiraSAT，Foamtec为晶圆厂提供了一个强大的工具来解决这个问题。这些无尘布有三种：

• 100％超纯水
• 10％的IPA（异丙醇）和90%超纯水
• 70％的IPA和30%超纯水 可以根据特定需求选择合适的选项。

替代100％ IPA 预湿无尘布：

随着28纳米晶圆厂的崛起，在机台保养期间寻找替代方案来替代100％ IPA 预湿无尘布变得非常重要。Foamtec的MiraSAT无尘布已被证明是可靠的解决方案。通过使用MiraSAT无尘布，28纳米晶圆厂成功地将过程中生成的VOC减少了60％以上。这一突破不仅改善了厂内的空气品质，还提高了整个制造过程的效率。

超吸水超细纤维无尘布：

MiraSAT无尘布的一个卓越特点是使用超吸水的超细纤维无尘布。这种独特的布料确保即使浸湿100％的水，无尘布也会使真空室保持干燥。这减少了机台的停机时间，使生产过程不中断。超细纤维无尘布的优越吸水性提高了清洁效率，从而实现更具生产力和可靠性的晶圆制造环境。

结论：

Foamtec的MiraSAT预湿无尘布已经彻底改变了晶圆厂应对降低VOC和AMC问题的方式。通过使用超纯水预湿无尘布的选项以及不同浓度的IPA，这些无尘布提供了灵活性，以满足特定的清洁需求。MiraSAT无尘布在机台保养期间取代100％ IPA 预湿擦拭布，可大幅减少过程中产生的VOC。此外，超吸水超细纤维无尘布确保无尘室保持干燥，减少了机台的停机时间。有了MiraSAT，Foamtec的产品为晶圆厂提供了一个有效的解决方案，以维护更干净、更安全和更高效的制造环境。

MiraSAT™UPW产品信息:https://www.59clean.com.tw/cn/html/product/show.php?pid=279&cid=97&cid2=92