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使用Foamtec的Diamond ScrubPADS提升10纳米晶圆厂PVD腔体清洁的PM效率
19
Apr
2024
2024-Apr-19
使用Foamtec的Diamond ScrubPADS提升10纳米晶圆厂PVD腔体清洁的PM效率
更新時間: 04/19/2024 上傳者: 59Clean
在10纳米晶圆厂中，保持PVD腔体的清洁和效能至关重要！
10纳米晶圆厂的操作规模要求极高的清洁程度，以实现精确度。传统的清洁工具，如Scotch-Brite™刷布，通常会在机台保养期间产生颗粒掉落，危及晶片品质，潜在地导致停机风险产生的昂贵成本或降低。机台保养（PM）是优化性能并降低颗粒污染风险的关键。Foamtec的Diamond ScrubPADS已成为这些高端制程晶圆厂的首选解决方案，尤其是用于PVD腔体清洁。
传统清洁工具面临的挑战：产量。Foamtec的Diamond ScrubPADS为10纳米晶圆厂的PVD腔体清洁提供了一个革命性解决方案。
解决方案→Foamtec的Diamond ScrubPADS：
Foamtec的Diamond ScrubPADS迅速成为10纳米晶圆厂的首选PM工具，特别是用于PVD腔体清洁。这些刷布具有独特的钻石涂层表面，确保高效的清洁，而不会产生颗粒。通过用Diamond ScrubPADS取代传统的Scotch-Brite™刷布，晶圆厂可以显著增强其PM程序。
10奈米晶圓廠中使用Diamond ScrubPADS進行PM的好處：
1.無顆粒清潔
2.提升產量和質量
3.節省時間和成本
4.已成為業界領先地位
結論：
Foamtec的Diamond ScrubPADS可以達到提升產量和質量、節省時間和成本、確保安全以及遵守合規性等好處。
Diamond ScrubPADS®产品信息: https://www.59clean.com.tw/cn/html/product/index.php?cid=97&cid2=93