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PolyCHECK® 无尘布 / 收集外来的污染物样本
PolyCHECK® 无尘布 / 收集外来的污染物样本
更新時間: 04/19/2024 上傳者: 59Clean
PolyCHECK® 是一种清洁验证和污染源分析工具，专用于检测污染物。由于具备以下特点，使工程师能够迅速且有效地采样设备表面，并收集无尘室中的外来粒子。PolyCHECK® 能够在表面上吸附和收集污染物，这使得将污染物放置到扫描电子显微镜 (SEM) 上进行分析更加容易。此外，它还可用于进行能量色散X射线(SEM/EDX)和傅立叶变换红外光谱仪(FTIR) 分析。
PolyCHECK® 的制造材料采用无尘室级别的聚酯纤维，专门设计用于在表面进行干擦后吸附和收集污染物。其吸附和保留大型设备表面的污染物，有助于工程师在检验室识别污染源。PolyCHECK® 设计用于协助SEM/EDX技术人员快速将收集的污染物转移到扫描电子显微镜SEM上，以进行进一步的分析。同时，搭配Foamtec的检验室以了解污染物的来源以及成分。
PolyCHECK® 还提供了专用的棉花棒，可用于采集小面积的表面样本，以确保对各种细节的检查。
与一般工具不同，PolyCHECK® 采用黑色布料，这有助于简化对有机粒子污染物的视觉检查，因为这些污染物在暴露于紫外光源时会发出荧光信号，更容易检测和辨认。
优势：
• 可以在无尘室中从大面积表面（如工作台、机台、真空室、机器手臂、设备等等）收集污染物。
• 可以更快速地进行失效模式与影响分析（FMEA），以找出污染物来源的根本，以解决CAPA（矫正及预防措施）、刮痕事件和污染物异常调查。
• 积极实施改进计划，以减少污染源。
应用领域：
• 搭配紫外光使用，PolyCHECK® 能够验证清洁后的真空腔体、前端模组、晶圆转移系统等设备。
• 适用于取样晶圆处理设备的表面、工具和元件，以识别污染源。
PolyCHECK® 的运作方式：
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1.确认关键设备 设备已经清洁完毕，准备好恢复生产。 |
2.使用 PolyCHECK® 擦拭表面 PolyCHECK® 能够快速有效地对不同大小面积进行采样。 |
3.视觉检查PolyCHECK® PolyCHECK® 的黑色布料可以使用UV灯并突出在无尘室下难以看到的纤维和颗粒。 |
4.使用 SEM 样品座转移污染物 PolyCHECK® 设计简便，可轻松将污染物转移到扫描电子显微镜SEM和显微镜玻璃片上，以便进行进一步的分析。 |
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5.进行SEM/EDX测试 SEM/EDX分析可以识别污染物的特性。 |
6.进行FTIR测试 FTIR红外光谱仪收集高分辨率的光谱数据，涵盖了广泛的光谱范围。 |
7.SEM/EDX分析 SEM/EDX机器使我们方便查看污染物的化学成分。 |
8.FTIR确认污染源 可以从FTIR系统里的数据库中确切地分析出PolyCHECK上的污染物。 |
PolyCHECK®产品信息: https://www.59clean.com.tw/cn/html/product/show.php?pid=311&cid=97&cid2=95
PolyCHECK® Swabs 产品信息: https://www.59clean.com.tw/cn/html/product/show.php?pid=312&cid=97&cid2=95